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Products尺寸、輪廓、形狀測量 激光干涉儀
一、應用范圍
SJ6000 激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在 SJ6000 激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測， 以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
二、產品介紹
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高端制造領域應用廣泛。
SJ6000 激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達 50000 小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高 4m/s 的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
三、產品配置
SJ6000 激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
四、產品特點
SJ6000 激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和
1.材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。
2.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
3.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
4.可實現對機床回轉軸的測量與校準；
5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
6.具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；支持手動或自動進行環境補償。
7.友好的人機界面；
8.豐富的應用功能模塊；
9.向導式的操作流程；
10.簡潔化的記錄管理；
11.支持中文、英文和俄文界面；
12.支持企業專屬模板定制。
13.內置 13 份標準，包含 GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。
五、國家標準
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序號 |
標準號 |
標準名稱 |
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1 |
GB/T 17421.2-2000 |
中國國家標準 |
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2 |
GB 10931-1989 |
中國國家標準 |
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3 |
ISO 230-2-1997 |
1997 版國際標準 |
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4 |
ISO 230-2-2006 |
2006 版國際標準 |
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5 |
ISO 230-2-2014 |
2014 版國際標準 |
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6 |
ASME B5.54-2005 |
美國國家標準 |
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7 |
ASME B89.1.12M-1990 |
美國機械工程師協會標準 |
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8 |
NMTBA-1997 |
美國機床協會標準 |
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9 |
BS 3800-2-1991 |
英國機床標準 |
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10 |
BS 4656-16-1985 |
英國機床標準 |
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11 |
JIS B6330 |
日本國家標準 |
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12 |
VDI 3441 |
德國機床標準 |
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13 |
JJG 117-2005 |
平板檢定規程 |
六、技術指標
型號：WR50
角度測量范圍：(0~360)°
測量精度：±1″
分辨力：0.1
最高轉速：10rpm
最高跟蹤速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直徑：112mm
通信方式：藍牙傳輸供電方式：鋰電池
信號輸入：差分 TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp 微電流信號輸出形式：10μs 脈沖
觸發延時：0.1μs 供電電源：12VDC
便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm 標準配置重量：18kg
供電電源：(100~240)VAC
激光的安全等級達到 Class I 要求
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：約 8 分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃ 存儲溫度范圍：(-20~70)℃ 環境濕度：(0~95)%RH
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力 0.01℃ 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力 0.01℃ 空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
測量精度：0.5ppm (0~40)℃ 測量分辨力：1nm
測量最大速度：4m/s
軸向量程：(0~15)m 測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R 為顯示值，單位：″；M 為測量距離，單位：m) 測量分辨力：0.1″
軸向量程：(0~15)m 測量范圍：±1.5mm
測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R 為顯示值，單位：μm；M 為測量距離，單位：m) 基板尺寸：180mm 可調，360mm 可調
測量分辨力：0.1μm
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軸向量程 |
測量范圍 |
測量精度 |
分辨力 |
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短距離 |
(0.1～3.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.1%R+0.2M)″ |
0.01μm |
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長距離 |
(1.0～15.0)m |
±3mm |
±(1+0.5%R+0.04M)″ |
0.1μm |
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注：R 為垂直度結果；M 為測量距離，單位：m |
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七、配件與證書
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序號 |
名稱 |
明細 |
備注 |
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1 |
SJ6000 主機 |
1 臺，配云臺、電源適配器 |
標配 |
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2 |
通用三腳架 |
1 個，配便攜包 |
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3 |
筆記本電腦 |
1 臺，配測量軟件 |
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4 |
環境補償單元 |
環境補償主機：1 個，內置空氣濕度和大氣壓力傳感器 |
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空氣溫度探頭：1 個，線長 5 米 |
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材料溫度探頭：3 個，線長 5 米 |
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5 |
標配附件 |
USB 線：2 根 |
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磁性表座：2 個 |
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安裝柱：4 節 |
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輔助安裝塊：1 塊 |
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水平儀：1 個 |
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6 |
線性鏡組 |
線性干涉鏡、線性反射鏡，各 1 個，夾緊孔座 2 個 |
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7 |
便攜式拉桿箱 |
1 個，外尺寸：613mm×460mm×230mm |
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8 |
線性附件 |
三坐標測頭夾具：1 套 |
選配 |
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9 |
輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各 1 個 |
選配 |
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10 |
可調轉向鏡：1 個 |
選配 |
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11 |
角度鏡組 |
角度干涉鏡、角度反射鏡，各 1 個 |
選配 |
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12 |
平面度鏡組 |
180mm、360mm 可調基板，各 1 個，平面度旋轉鏡 2 個 |
選配 |
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13 |
短直線度鏡組 |
短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各 1 個 |
選配 |
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14 |
長直線度鏡組 |
長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡，各 1 個 |
選配 |
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15 |
直線度附件 |
大角錐反射鏡、90 度轉向鏡、直線度底座、M8 接頭， 各 1 個 |
選配 |
